压力不敏感型质量流量控制器Maru 7000 PI
- 供应商
- 厦门良厦贸易有限公司
- 认证
- 联系电话
- 0592-6013840
- 手机号
- 15396145919
- 销售
- 石进良
- 所在地
- 中国（福建）自由贸易试验区厦门片区中埔社10190号（注册地址）
- 更新时间
- 2024-11-27 11:08
压力不敏感型质量流量控制器
maru 7000pi是压力不敏感型质量流量控制器，高性能数字控制回路可以实时控制和诊断流量，金属密封，通过ep抛光处理，耐腐蚀性强；压力传感器及控制回路的改善算法，响应速度、精度、重复性等性能提高，适用于严苛洁净的半导体行业（semiconductor）。
特点
semi注册，三星电子common spec
供给压力波动时也可以稳定的控制流量
快速响应和高精度
模拟与数字通讯都支持
流量、温度、压力、mac id、通讯速度等本体显示
mgmr功能（multi gas range）
ep处理和金属密封，抗腐蚀性能
技术规格
| 型号 | maru 7000 pi | ||||
| 流量范围（n2基准） | 5sccm~50slm | ||||
| 流量控制范围 | 2 ~ 满量程 | ||||
| 精度 | ≤±1%读数（30~量程） ≤±0.35%满量程（5~35%量程） | ||||
| 响应速度 | ≤1秒（≤semi标准） | ||||
| 重复性 | ≤0.2%满量程 | ||||
| 压力不敏感 | ≤±2%满量程 上/下浮动5psi/秒 | ||||
| 零点稳定性 | ＜±0.5%满量程/年 | ||||
| 温度系数 | 0.01%满量程/℃ | ||||
| 泄漏率 | ＜1 × 10e-11pa·m³/秒（he） | ||||
| 工作压力 | 50-300kpa | ||||
| 工作压力 | 450kpa | ||||
| 阀门类型 | 常闭阀 | ||||
| 阀门关闭 | ＜1%满量程 | ||||
| 密封种类 | 金属密封 | ||||
| 材质及抛光 | sts-316l,0.1um ra | ||||
| 电气连接及信号 | 模拟：0-5vdc或4-20ma（15针d-sub公头） 数字：rs485（15针d-sub公头） devicenet协议（专用接口） | ||||
| 电源 | +15vdc~+24vdc | ||||
| 操作温度 | 操作温度：10-50℃（推荐15~35℃） | ||||
| 预热时间 | 30分钟（准确度保证：60分钟） | ||||
| 法兰连接 | 1/4"lok或vcr（根据型号） | ||||