氦所质谱检漏仪厂家 华诚浩达真空空压设备

氦质谱检漏仪的工作原理是什么？

检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，正压氦所质谱检漏仪厂家，对分辨率和检测的质量范围要求很低，正压氦所质谱检漏仪厂家，但对灵敏度要求较高。其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：

1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。

2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，正压氦所质谱检漏仪厂家，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。

5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，氦所质谱检漏仪厂家，以保护灯丝。

6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。

氦质谱检漏仪的真空系统

氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。

1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。

2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。

3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，用它来校准氦质谱检漏仪的z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。

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