超声显微镜 芯片失效分析的利器
- 供应商
- 深圳市启威测标准技术服务有限公司
- 认证
- 类型
- 光学显微镜
- 品牌
- PVA
- 型号
- SAM300E
- 联系电话
- 0755-27403650
- 手机号
- 13631643024
- 业务经理
- 尹小姐
- 所在地
- 深圳市龙岗区吉华街道甘李五路1号科伦特研发楼附属楼101 (启威测实验室)
- 更新时间
- 2024-04-28 08:00
类型 | 光学显微镜 | 品牌 | pva |
型号 | sam300e | 仪器放大倍数 | 10000 |
目镜放大倍数 | 10 | 物镜放大倍数 | 1000 |
重量 | 400000(g) | 适用范围 | 半导体电子行业:半导体晶圆片、封装器件、大功率器件igbt、红外器件、光电传感器件、smt贴片器件、mems等; |
装箱数 | 1 |
超声显微镜,或全称是:超声波显微镜,半导体业界通常都直接简称为c-sam,或sat,主要应用到半导体器件的后封装检测当中。
超声显微镜,其实它与显微镜几乎不沾边,只是这玩意早产生的国外,英文是:scanningacousticmicroscope,简称sam。后来进入国内,大家也就直接翻译成超声显微镜了,或者叫声扫显微镜了。因此在很多半导体器件封装厂,大家也就直接用泊来名:c-sam。其主要是针对集成电路(芯片)、大功率器件,如igbt、材料内部的失效分析。
近年来,超声显微镜已被成功地应用在电子工业,尤其是封装技术研究及实验室之中。由于超声波具有不用拆除组件外部封装之非破坏性检测能力,故超声显微镜可以有效的检出ic封装结构中因水气或热能所造成的破坏如﹕脱层、气孔及裂缝…等。超声波在介质中传播时,若遇到不同密度或弹性系数的介质时,即会产生反射回波。而这种反射回波强度会因材料密度不同而有所差异。超声显微镜即利用此特性来检出材料内部的缺陷并依所接收到的反射信号变化使之成像。因此,只要被检测的ic上表面或内部芯片构装材料的接口有脱层(分层)、气孔、裂纹等缺陷时,即可由超声显微镜影像,了解到缺陷的相对位置。
超声显微镜主要使用于封装内部结构的分析,因为它能提供ic封装因水气或热能所造成破坏分析,例如裂缝、空洞和脱层。
超声显微镜内部的成像原理为压电陶瓷晶体产生的超声波打到待测物品上,将声波在不同界面上反射或穿透信号接收后成像,再以成像和信号加以分析。
超声显微镜可以在不需破坏封装的情况下探测到分层、空洞和裂缝,且拥有类似x-ray的穿透功能,并可以找出问题发生的位置和提供接口数据。
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