南通市硅材料及其制品元素分析检测 第三方

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浙江广分检测技术有限公司
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业务经理
周志琴
所在地
江苏省昆山市陆家镇星圃路12号智汇新城B区7栋
更新时间
2024-05-28 08:59

详细介绍

概述

    目前,国际通用作法是把商品硅分成金属硅和半导体硅。金属硅是由石英和焦炭在电热炉内冶炼成的产品,主成分硅元素的含量在98%左右(近年来,含si量99.99%的也归在金属硅内),其余杂质为铁、铝、钙等。半导体硅用于制作半导体器件的高纯度金属硅。是以多晶、单晶形态出售,前者价廉,后者价昂。

检验范围

    晶体硅,石英玻璃管材、石英加热管产品,石英电光源产品,石英器件、石英砂和硅微粉,碳化硅,金属硅,熔融石英,水晶工艺品等10大类45项产品的检验。

检测能力

      al、fe等元素分析,p、b元素分析,fe元素分析,单晶硅中b、p,霍尔系数,迁移率,电阻率,粒度分析,粒度分析,形态分析,羟基含量,水分测定,二氧化硅含量,碳化硅含量等。
仪器设备

    辉光放电质谱仪、x射线衍射仪、扫描型x射线荧光光谱仪、紫外•可见•近红外分光光度计、傅立叶变换红外光谱仪、低温傅立叶变换红外光谱仪、激光粒度仪、百万分之一电子天平、偏光金相显微镜、全自动立体显微镜、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、原子吸收光谱仪、场发射扫描电镜(能谱)、超低碳分析仪、超低氧分析仪、少子寿命测试仪、硅片厚度测试仪、数字式四探针测试仪、深能级瞬态谱仪、低温霍尔效应测试仪等。

相关检测标准

      gb/t 14849 工业硅化学分析方法

      gb/t 2881 工业硅

      gb/t24581 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中iii、v族杂质含量的测试方法

      gb/t6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测定非接触涡流法

      gb/t 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

      semimf1630 单晶硅Ⅲ-Ⅴ级杂质的低温ft-ir分析测试方法

      gb/t1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法

      semi mf1535-1106 非接触微波反射光电导衰减测试硅晶片载流子复合寿命的方法

      gb/t1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

      gb/t 1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法

      gb/t 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法

      gb/t 4061 硅硅片径向电阻率变化的测量方法

      gb/t 11073 多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

      gb/t 1555 半导体单晶晶向测定方法

      gb/t 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

      gb/t 12964 硅单晶抛光片

      gb/t 13387 电子材料晶片参考面长度测量方法

      gb/t 6620 硅片弯曲度非接触式测试方法

      ys/t26 硅片边缘轮郭检验方法

      gb/t 14142 硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法

      gb/t5252 锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法

      gb/t24582 酸浸取原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

      ys/t 24 外延钉缺陷的检验方法等。


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