中国电子科技集团公司第四十八研究所(简称四十八所)是的微电子、太阳能电池、光电材料、磁性材料、锂电池材料、电力电子等专用设备研究所。经过数十年的奋斗,我所已成为国内半导体设备的主要供应商,是中国大的太阳能电池设备制造商,产品遍及全国25个省市、出口欧亚。 1992年开始从事太阳能电池制造设备的研制开发,从2001年开始,相继向市场提供了光伏产业链整线的所有关键设备,广泛应用于国内几乎所有大生产线上,主要产品有:(一)单晶炉(二)多晶硅铸锭炉(三)高温扩散炉(四)等离子体刻蚀机(五)PECVD(六)低温烘干炉和高温烧结炉(七)丝网印刷机(八)一次(制绒)清洗机(九)二次(去PSG)清洗机(十)石英管清洗机(十一)PECVD电极清洗机
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