SEM扫描电镜分析 EDS成分分析

sem扫描电镜分析 eds成分分析    

sem（扫描电子显微镜）-eds（x射线能谱仪）是目前zui主要的成分分析手段之一，之前我们讲过其原理、技术进步、应用项目和行业，现在来讲讲sem和eds在各测试项目中是如何应用的，拿到sem和eds结果后如何分析？

首先关于sem，它的用途主要有两个：

一是利用其放大功能观察微小样品表面形貌及元素分布（注：只能观察到样品zui表面形貌；图像为黑白像；若需观察材料截面情况，需要先制样）；

二是作为电子探针与eds或aes（俄歇电子能谱）相结合，分析微区内的元素组成。

一. 观察表面形貌分析和元素分布1. sem分析成像模式

1）表面形貌：sem（scanning electron microscope）成像模式，利用次级电子来观察样品的表面形貌和特征。se图像能够提供非常丰富的图像细节与信息，如材料表面形貌（如裂纹、孔洞、腐蚀、形变等信息）、微观峰谷结构、颗粒分布、晶体结构等等，是常用的表面形貌和形态分析方式。

sem图像上的参数如何看？以图1为例，10.0kv表示工作电压，8.0mm表示工作距离，20.0k表示放大倍数20 000倍，右下标尺全长2.00微米，每格0.2微米。

图1和2是不同的粉末样品，可以看出微观上的形态区别，金刚石粉末样品呈现块状、多棱角，团聚在一起，而改性钛白粉样品则呈现出不规则形状，颗粒分散。

其他类型样品的sem图像如图3~8所示。

2）元素分布：bse（backscattered electron imaging）则是另一种成像模式，它利用反向散射电子来显示样品的化学成分差异。主要为元素、相的二维分布。测试效果如图9所示。

图9反映出样品表面元素分布情况，亮的部分是钨（w），暗的部分是铜（cu）。