氦质谱检漏仪在EV继电器上的检漏应用

（一）ev继电器半成品氦检漏

采用负压喷氦法检漏（如图3），一般检漏过程如下：

1. 把工件安装在检漏仪工装上，工装的下端与检漏仪检漏口直接连接；

2. 通过仪器自带的真空系统对工件抽真空；

3. 待仪器面板本底漏率值下降到指定漏率值后，在工件外表面喷吹一定量的氦气，开始检漏；

4. 若仪器显示漏率值一直低于设定漏率值，则当前被检工件泄漏指标合格；

5. 若被检工件泄漏不达标，仪器显示漏率值高于设定漏率值，并发出声报警，屏幕跳红，提醒检测人员注意。

（二）ev继电器成品氦检漏

通常采用负压喷氦法或简易真空箱法两种方法检漏。

负压喷氦法（如图3）是将ev继电器的的充气口铜管和氦检仪的检漏口直接连接，具体检漏过程与半成品检漏一样。检漏结束通过铜管对合格被检件内部充入工艺气体后然后剪断封口。此方法无法检测铜管剪口处的泄漏情况，对工艺要求很高。

简易真空箱法检漏（如图4）就是先密封氦气到产品内部，然后将产品放入与检漏仪检漏口连接的小型检漏容器（俗称检漏罐或检漏盒）中检漏。在检ev继电器成品时，将被检件内部充入工艺气体及少量氦气后，剪断注气铜管并密封好后放入检漏罐中。随后对检漏罐进行抽空，如果铜管没有密封好或者被检件本身泄漏不达标，仪器发出声光报警提示不合格。

              图4 简易真空箱检漏

安徽歌博科技有限公司推出的氦质谱检漏仪工作台可以极大地提高ev继电器产品检漏效率。还可根据客户具体要求设计双/多工位工作台，满足每个工位单次测量多个工件。