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IGBT入门知识

发布时间: 2019-10-15

 

史前时代-pt

pt是zui初代的igbt,它使用重掺杂的p+衬底作为起始层,在此之上依次生长n+ buffer,n- base外延,zui后在外延层表面形成元胞结构。它因为截止时电场贯穿整个n-base区而得名。它工艺复杂,成本高,而且需要载流子寿命控制,饱和压降呈负温度系数,不利于并联,虽然在上世纪80年代一度呼风唤雨,但在80年代后期逐渐被npt取代,目前已归隐江湖,不问世事,英飞凌目前所有的igbt产品均不使用pt技术。

初代盟主——igbt2

特征:平面栅,非穿通结构(npt)

npt-igbt于1987年出山,很快在90年代成为江湖霸主。npt与pt不同在于,它使用低掺杂的n-衬底作为起始层,先在n-漂移区的正面做成mos结构,然后用研磨减薄工艺从背面减薄到 igbt 电压规格需要的厚度,再从背面用离子注入工艺形成p+ collector。在截止时电场没有贯穿n-漂移区,因此称为“非穿通”型igbt。npt不需要载流子寿命控制,但它的缺点在于,如果需要更高的电压阻断能力,势必需要电阻率更高且更厚的n-漂移层,这意味着饱和导通电压vce(sat)也会随之上升,从而大幅增加器件的损耗与温升。

技能:低饱和压降,正温度系数,125℃工作结温,高鲁棒性

因为n-漂移区厚度大大降低了,因此vce(sat)相比pt大大减少。正温度系数,利于并联。

名号:dlc,kf2c,s4…

等等,好像混进了什么奇怪的东西!

没写错!s4真的不是igbt4,它是根正苗红的igbt2,适用于高频开关应用,硬开关工作频率可达40khz。这一明星产品,至今销路仍然不错。

性能飞跃--igbt3

特征:沟槽栅,场截止(field stop)

igbt3的出现,又在igbt江湖上掀起了一场巨大的变革。igbt3的元胞结构从平面型变成了沟槽型。沟槽型igbt中,电子沟道垂直于硅片表面,消除了jfet结构,增加了表面沟道密度,提高近表面载流子浓度,从而使性能更加优化。(平面栅与沟槽栅技术的区别可以参考我们之前发表过的文章“平面型与沟槽型igbt结构浅析”)。

纵向结构方面,为了缓解阻断电压与饱和压降之间的矛盾,英家于2000年推出了field stop igbt,目标在于尽量减少漂移区厚度,从而降低饱和电压。场截止(field stop)igbt起始材料和npt相同,都是低掺杂的n-衬底,不同在于fs igbt背面多注入了一个n buffer层,它的掺杂浓度略高于n-衬底,因此可以迅速降低电场强度,使整体电场呈梯形,从而使所需的n-漂移区厚度大大减小。此外,n buffer还可以降低p发射极的发射效率,从而降低了关断时的拖尾电流及损耗。(了解更多npt与场截止器件的区别请参考:pt,npt,fs型igbt的区别)。

技能:低导通压降,125℃工作结温(600v器件为150℃),开关性能优化

得益于场截止以及沟槽型元胞,igbt3的通态压降更低,典型的vce(sat)从第2代的典型的3.4到第3代的2.55v(3300v为例)。

名号:t3,e3,l3

igbt3在中低压领域基本已经被igbt4取代,但在高压领域依然占主导地位,比如3300v,4500v,6500v的主流产品仍然在使用igbt3技术。

中流砥柱--igbt4

igbt4是目前使用zui广泛的igbt芯片技术,电压包含600v,1200v,1700v,电流从10a到3600a,各种应用中都可以见到它的身影。

特征:沟槽栅+场截止+薄晶圆

和igbt3一样,都是场截止+沟槽栅的结构,但igbt4优化了背面结构,漂移区厚度更薄,背面p发射极及n buffer的掺杂浓度及发射效率都有优化。

技能:高开关频率,优化开关软度,150℃工作结温

igbt4通过使用薄晶圆及优化背面结构,进一步降低了开关损耗,同时开关软度更高。同时,zui高允许工作结温从第3代的125℃提高到了150℃,这无疑能进一步增加器件的输出电流能力。

名号:t4,e4,p4

t4是小功率系列,开关频率zui高20khz。

e4适合中功率应用,开关频率zui高8khz。

p4对开关软度进行了更进一步优化,更适合大功率应用,开关频率zui高3khz。

土豪登场--igbt5

“土豪金” 芯片

特征:沟槽栅+场截止+表面覆盖铜

igbt5是所有igbt系列里zui土豪的产品,别的芯片表面金属化都用的铝,而igbt使用厚铜代替了铝,铜的通流能力及热容都远远优于铝,因此igbt5允许更高的工作结温及输出电流。同时芯片结构经过优化,芯片厚度进一步减小。

技能:175℃工作结温,1.5v饱和电压,输出电流能力提升30%

因为igbt5表面覆铜,并且在模块封装中采用了先进的.xt封装工艺,因此工作结温可以达到175℃。芯片厚度相对于igbt4进一步减薄,使得饱和压降更低,输出电流能力提升30%。

名号:e5,p5

目前igbt5的芯片只封装在primepack™里,电压也只有1200v,1700v,代表产品ff1200r12ie5,ff1800r12ip5。

真假李逵--trenchstop™5

在单管界,有一类产品叫trenchstop™5。经常听到有人问h5、f5、s5、l5是不是igbt5?严格意义来讲并不是,虽然名字里都带5,但是h5、f5、s5这些单管的5系列,属于另外一个家族叫trenchstop™5。这个家族没有“黄金甲”加持,基因也和igbt5不一样。

特征:精细化沟槽栅+场截止

虽然都叫沟槽栅,但trenchstop™5长得还是和前辈们大相径庭。它的沟道更密,电流密度更高。在达到操作性能同时,并不具备短路能力。

技能:175℃zui大工作结温,高开关频率,无短路能力

性能和短路,永远是一对矛盾体。为了追求卓越的性能,trenchstop™5牺牲掉了短路时间。trenchstop™5可以根据应用目的不同,取得极低的导通损耗,或者极高的开关频率,开关频率zui高可达70~100khz,而导通压降zui低可低至1.05v。

名号:h5,f5,s5,l5

trenchstop™5目前只有650v的器件,并且都是分立器件。这一系列产品针对不同的应用进行了通态损耗和开关损耗的优化。其中h5/f5适合高频应用,l5导通损耗zui低。trenchstop™5各个产品在折衷曲线上的位置如下图所示。

后起之秀--igbt6

6掌门虽然和4掌门之间隔了个5,但6其实是4的优化版本,依然是沟槽栅+场截止。igbt6目前只在单管中有应用。

特征:沟槽栅+场截止

器件结构和igbt4类似,但是优化了背面p+注入,从而得到了新的折衷曲线。

技能:175℃zui大工作结温,rg可控,3us短路

igbt6目前发布的有2个系列的产品,s6导通损耗低,vce(sat) 1.85v; h6开关损耗低,相比于h3,开关损耗降低15%。

名号:s6,h6

igbt6只有单管封装的产品,例如:ikw15n12bh6,ikw40n120cs6,封装有to-247 3pin,to-247 plus 3pin,to-247 plus 4pin。

万众瞩目--igbt7

igbt经数代,厚积薄发,2018年终于迎来了万众瞩目的igbt7。

特征:微沟槽栅+场截止

虽然都是沟槽栅,但多了一个微字,整个结构就大不一样了。igbt7沟道密度更高,元胞间距也经过精心设计,并且优化了寄生电容参数,从而实现5kv/us下的开关性能。

技能:175℃过载结温,dv/dt可控

igbt7 vce(sat)相比igbt4降低20%,可实现zui高175℃的暂态工作结温。

名号:t7,e7

代表产品有:fp25r12w1t7。t7专为电机驱动器优化,可以实现5kv/us下性能。e7应用更广泛,电动商用车主驱,光伏逆变器等。

一张表看懂igbt1234567

 


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