苏州薄膜成分分析方法薄膜成分含量检测

什么是薄膜？通常，薄膜是一种薄而软的透明薄片。用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器，机械，印刷等行业。按薄膜成型所用原料分类：有聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜和聚酯薄膜等。下面，微谱介绍关于薄膜成分分析知识。

薄膜成分分析方法:

1、x射线光电子能谱；（10纳米，表面）；

2、俄歇电子能谱；（6nm，表面）；

3、二次离子质谱；（微米，表面）

4、电子探针分析方法；（0.5微米，体相）

5、电镜的能谱分析；（1微米，体相）

6、电镜的电子能量损失谱分析；（0.5nm）

为达此目的，成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。

（1）光谱分析

主要包括火焰和电热原子吸收光谱aas，电感耦合等离子体原子发射光谱icp-oes，x-射线荧光光谱xfs和x-射线衍射光谱分析法xrd；

（2）质谱分析

主要包括电感耦合等离子体质谱icp-ms和飞行时间二次离子质谱法tof-sims。

（3）能谱分析

主要包括x射线光电子能谱xps和俄歇电子能谱法aes

薄膜成分含量检测

1.薄膜的成分含量的检测标准

din 4薄膜集成电路.第4部分:材料、厚膜电阻成分的评价方法

2.薄膜成分含量检测范围：

光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。

材料分析、成分分析、含量分析等。

以上就是小编为大家带来的关于薄膜成分分析方法，薄膜成分含量检测的相关内容介绍