惠然微电子发布国内首台14/22nm CD SEM量测设备

惠然微电子技术有限公司于8月31日至9月2日举行的第十四届半导体设备材料及核心部件展（CSEAC 2026）上，正式发布国内首台14纳米研发级与22纳米量产级12英寸晶圆CD-SEM（电子束关键尺寸量测设备）eMILO-FW300。该设备向下兼容22nm大规模量产、向上支撑14nm前沿工艺研发，是国内首台打通“研发+量产”双场景的高端CD量测装备。

同期亮相的还有面向22nm及以上节点光刻掩模版量测需求的Mask CD-SEM eMILO-FR7，以及AI-电子束量测技术平台RMS。报道称，上述产品均已达到国内领先水平，部分属国内首创，可与国际同类产品对标。其中RMS平台作为CD-SEM智能体产线全栈解决方案，补齐了国产设备在算法与数据处理端的短板，实现软硬件自主可控。

半导体量测设备贯穿光刻、刻蚀等核心工艺，直接决定晶圆良率与制程迭代速度。CD-SEM作为先进制程良率控制的核心装备之一，国产化率长期处于低位，业内素有“小光刻机”之称。据江苏省无锡市滨湖产业集团介绍，惠然微电子是国内唯一自主正向研发CD-SEM并实现出货的企业，自2024年6月落地无锡滨湖后营业收入实现6倍增长。本次展出的设备可为多层化、复杂化的集成电路生产提供关键微观数据。

9月1日下午，惠然微电子与国内IDM半导体龙头企业华润微电子举行对接会并签署战略合作框架协议。双方将围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，建立技术交流与人才培养机制，深度协同产业链上下游资源整合，共同加速关键半导体装备的自主可控进程。