安立发布矢量网络分析仪Tensor

日本安立公司（Anritsu）正式发布新一代矢量网络分析仪Tensor，面向高频、高精度射频测量需求升级。该设备已在法国巴黎举办的欧洲微波周（EuMW）上首次公开展示，并同步启动全球供货。Tensor并非简单迭代，而是重构硬件架构与数据处理逻辑的平台级产品，重点覆盖54 GHz至220 GHz毫米波及亚太赫兹频段——这一区间正成为6G通信原型验证、卫星通信终端、车载雷达芯片和先进封装射频模块的关键测试窗口。

Tensor的核心突破在于其‘单端口专用信号源’（dedicated source per port）硬件设计：每个测试端口均配备独立合成信号源，彻底规避传统VNA共用本振带来的相位耦合误差与校准复杂度。配合全新开发的AI驱动测量引擎，可自动识别被测器件（DUT）类型并动态优化扫描步进、功率电平与平均次数，在保持±0.005 dB幅度精度与±0.1°相位精度前提下，将典型S参数扫描速度提升3倍以上。其数据吞吐能力达2.4 GB/s，支持实时保存原始I/Q数据流，满足宽带调制信号建模与非线性行为分析需求。

硬件平台采用模块化设计，基础机型支持4端口配置，通过软件授权即可扩展至8端口；毫米波扩展依赖紧凑型mmWave模块，目前提供54–70 GHz、110–170 GHz及170–220 GHz三组频段选件，各模块均通过IEC 61000-4-3辐射抗扰度认证，适配洁净室与EMC实验室环境。Tensor标配Windows 11嵌入式系统与Python API接口，兼容Keysight PathWave、NI AWR等主流EDA工具链，支持用户自定义脚本实现批量校准、多器件并行测试及产线SPC统计过程控制。值得注意的是，其校准套件已通过NIST可溯源认证，且支持TRL/LRM等多种校准算法，降低毫米波探针台对接门槛。

毫米波芯片研发与量产测试的实际适配点

Tensor直接切入当前中国射频产业链的高频瓶颈环节。国内毫米波雷达芯片厂商在77/79 GHz车载雷达量产导入阶段，普遍面临传统VNA在110 GHz以上频段动态范围不足（＜90 dB）、校准重复性差（＞0.02 dB峰峰值波动）等问题。Tensor在170 GHz频点实测动态范围达110 dB，且支持片上探针（on-wafer probing）直连模式，可减少转接损耗引入的测量偏差。对封装级测试而言，其220 GHz上限覆盖了硅基GaN HEMT器件的三次谐波测试需求，有助于识别高频寄生效应。对于正在布局太赫兹通信的科研院所，Tensor的亚THz模块为0.22–0.33 THz频段预研提供了可复现的S参数基准平台。

采购与集成需关注的三项硬约束

中国用户在评估Tensor时需重点关注三点：一是mmWave模块为独立外置单元，需预留≥400 mm × 300 mm机柜空间及双路100 W供电接口；二是220 GHz频段测试必须搭配Anritsu原厂GSG探针（型号MS46122B），国产替代探针尚未完成全频段SOLT校准验证；三是Tensor不兼容旧版Anritsu MA系列校准件，需单独采购新规格机械校准套件（含220 GHz标准负载与开路器），单套成本约人民币18万元。

• 确认待测器件Zui高工作频率是否落入Tensor三组mmWave模块覆盖区间（54–70/110–170/170–220 GHz），避免跨频段拼接导致的相位跳变
• 若用于晶圆级测试，须提前与Anritsu中国技术支持确认探针台接口协议（如Cascade Summit或MPI TS200）的固件兼容版本
• 产线部署前需验证Tensor Python API与现有MES系统的数据字段映射关系，尤其关注S参数文件格式（Touchstone v2.0 vs v3.0）与时间戳精度（μs级）要求

法国作为欧洲射频测试设备重要应用市场，其航空航天企业（如空客防务与航天部门）及半导体研究机构（CEA-Leti）已将Tensor纳入下一代Ka波段卫星载荷与SiGe BiCMOS工艺表征流程。对中国出口型企业而言，Tensor的NIST可溯源校准能力与IEC 61000-4-3认证，可直接支撑CE/UKCA电磁兼容报告出具，缩短欧盟市场准入周期。目前Tensor在中国由安立上海分公司提供本地化服务，基础机型交付周期为12–14周，mmWave模块需额外加订8周。