理光推新型流量计，内置温补兼容八十种药液
日本流体控制设备制造商株式会社理光联合（Regal Joint）于2026年6月9日发布新闻稿，宣布推出名为“Multi Flow R”（マルチフローR）的新型液体用卡门涡街式流量计。该产品专为半导体湿法工艺及各类化学药液供给系统设计，核心突破在于其内置的温度补偿功能以及能够兼容约80种不同化学药液的New PFA接液结构。此举旨在解决高精度流量控制中因流体温度波动引发的测量误差难题，预计将于2026年6月15日正式发售，并在夏季开始出货。
半导体湿法工艺中的流量控制痛点
在半导体制造设备以及通用的化学药液供给系统中，流量管理的稳定性直接决定了Zui终产品的良率。长期以来，行业面临两大核心挑战：一是接液部件材质的耐腐蚀性选择，二是流体温度变化对测量精度的干扰。传统的卡门涡街流量计虽然具有无活动部件、寿命长等优点，但在面对温度波动时存在固有缺陷。
当流体通过流量计时，其粘度会随温度变化而改变。对于没有温度补偿功能的传统设备而言，液温的微小波动会导致涡旋脱落频率发生变化，进而影响检测信号的准确性，Zui终造成流量读数出现显著误差。在实际生产线上，操作人员往往需要投入大量人力进行实时监控，或手动调整阀门以抵消这种偏差，这不仅增加了工时的成本，也引入了人为操作的不确定性风险。
New PFA结构与自动温度补偿技术
针对上述痛点，理光联合此次推出的Multi Flow R系列流量计采用了两项关键技术改进。首先是接液材质的全面升级。该型号流量计的流道内部及接触流体的部分全部采用New PFA（全氧基树脂）材料。PFA作为一种高性能含氟聚合物，具有的化学惰性，能够抵抗绝大多数强酸、强碱及有机溶剂的腐蚀。据官方数据，这一材质选择使得该设备能够兼容约80种常见的半导体制造用高纯度药液，包括、、氨水等腐蚀性极强的介质，无需针对不同药液频繁更换传感器主体。
其次是内置高精度温度传感器的自动补偿算法。Multi Flow R在流路内部集成了温度感应元件，能够实时监测流体温度。当检测到水温或药液温度发生变化时，系统会自动根据流体的粘度-温度特性曲线对流量读数进行动态修正。这意味着即使在生产过程中冷却水温度波动或环境温度变化，流量计也能输出经过校正的准确数据，彻底消除了因热胀冷缩和粘度变化引起的测量漂移。
这种自动化补偿机制直接免去了人工监控和手动调阀的工序，不仅提升了生产线的自动化水平，还确保了湿法清洗、蚀刻等关键工艺步骤中流量的一致性，从而有助于维持半导体晶圆加工的高良率。此外，该设备采用了紧凑设计，取消了传统的可动部件和O型圈密封结构，进一步降低了泄漏风险并延长了维护周期。
产品规格与适用范围
Multi Flow R系列提供了广泛的量程选择，以适配不同规模的工业需求。其流量范围覆盖0.3至100升/分钟（L/min），具体型号包括MFR301至MFR305等。在精度方面，小量程型号（MFR301/302/303/304）的流量精度可达满量程的±2%，而大量程型号（MFR305）为±3%。温度测量精度则为±2℃或±0.15×ΔT℃（其中ΔT为环境温度与流体温度之差）。
该设备支持0至90摄氏度的流体工作温度，连接口径涵盖3/8英寸至1英寸的管端接口。输出信号包括4-20mA模拟信号和脉冲信号，部分带显示型号还具备两点NPN集电极开路输出的报警功能。这种灵活的配置使其能够轻松集成到现有的半导体制造设备或纯水、化学药液供给系统中。
理光联合表示，除了半导体行业，该产品也将拓展至纯水处理、一般化工及食品饮料等需要高精度流体控制的产业领域。公司计划在未来扩充产品线，通过提高配管效率和实现装置的小型化，进一步满足市场对高空间利用率和高能效设备的需求。
日本流体控制行业的精细化趋势
从行业背景来看，日本在半导体制造设备和精密流体控制领域拥有深厚的技术积累。随着全球半导体制造工艺节点不断缩小，对清洗和蚀刻过程中药液流量的控制精度要求已从“大致稳定”提升至“微米级恒定”。任何微小的流量波动都可能导致晶圆表面缺陷。因此，像理光联合这样专注于解决特定工艺痛点（如温度补偿、材质兼容性）的细分领域供应商，正逐渐成为产业链中不可或缺的一环。
此外，日本制造业近年来强调“省人化”和“自动化”，Multi Flow R通过消除人工监控需求，正好契合了这一趋势。对于中国半导体设备制造商而言，这类高精度、高兼容性的辅助仪表是提升整机竞争力的关键组件。在国产替代加速的背景下，了解此类国际先进产品的技术路径，如New PFA材质的应用细节及温度补偿算法的实现方式，有助于国内企业在研发类似高端流量计时避开材质腐蚀陷阱，优化控制逻辑。
理光联合自1974年创立以来，凭借其在真空技术和配管技术上的积累，已在流体制控、环境工程、热交换器等多个领域建立了业务版图。此次推出的Multi Flow R不仅是其单一产品的迭代，更反映了日本精密仪器行业向高附加值、高可靠性方向转型的战略意图。对于中国采购方和设备集成商来说，关注此类具备自动补偿功能的高性能流量计，将有助于提升产线的整体稳定性和智能化水平。