深圳洁乐科技发布超高纯度隔膜阀,面向半导体光伏市场

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深圳洁乐科技发布超高纯度隔膜阀,面向半导体光伏市场

深圳洁乐科技有限公司(Jewellok Technology Co., Ltd.)近日正式发布其Zui新一代超高纯度隔膜阀(Ultra High Purity Diaphragm Valve)系列产品。该系列专为半导体、光伏及生物制药行业的极端工况而研发,在污染控制与系统可靠性方面实现了显著突破,可满足特种气体输送对洁净度的苛刻要求。

在亚微米级精密制造领域,流路的完整性与洁净度是产线良率的命脉所在。随着半导体制程节点持续收缩、太阳能电池转换效率要求不断提升,行业对阀门产品的纯度指标和循环耐久性提出了前所未有的挑战。洁乐科技新款超高纯度隔膜阀正是对上述市场需求的直接回应。

316L VIM-VAR不锈钢阀体,电解抛光表面粗糙度达5微英寸以下

洁乐科技超高纯度(UHP)系列的核心竞争力,首先体现在材料科学层面。每只阀体均采用316L VIM-VAR(真空感应熔炼+真空电弧重熔)不锈钢锻造而成。这一双真空熔炼工艺可有效消除金属内部的非金属夹杂物,为气体传输提供极为稳定的基体结构。VIM-VAR材料在航空航天、核工业等高端制造领域已有广泛应用,其引入阀门制造代表了国内厂商在原材料选择上向标准看齐的重要一步。

在内壁处理工艺上,所有与介质接触的湿面均经过严格的电解抛光(Electropolishing)处理,Zui终实现表面粗糙度(Ra)不超过5微英寸(约0.127微米)的镜面效果。这一工艺可有效防止微粒在管壁附着,同时大幅缩短气体切换时的吹扫时间,直接降低产线换气停机成本。据悉,该系列产品可处理腐蚀性、有毒及自燃性等高危险等级气体,整体洁净度超越6N(99.9999%)纯度标准。

金属对金属膜片密封,氦质谱检漏率低于1×10⁻⁹ atm·cc/s

安全性与密封完整性是洁乐科技工程设计哲学的基石。与市场上部分产品采用软性弹性体密封不同,洁乐超高纯度隔膜阀采用金属对金属隔膜密封结构,从根本上规避了弹性材料在长期使用中因老化或析气(outgassing)引发的污染风险。每只出厂阀门均须通过严格的氦质谱检漏测试,泄漏率须低于1×10⁻⁹ atm·cc/s,这一密封性能可为工艺环境及操作人员提供全面防护。

洁乐科技相关负责人袁先生(James Yuan)表示:"我们Zui新一代超高纯度隔膜阀,是对半导体制程节点持续缩小以及太阳能电池生产效率不断提升这两大趋势的直接响应。通过聚焦零死体积(zero-dead-volume)架构设计和高循环寿命,我们希望为客户提供的不仅是一个流量控制元件,更是一个能主动保护其Zui敏感工艺良率的核心部件。"零死体积设计可Zui大限度减少阀腔内残余气体,对于需要频繁切换气源的半导体设备尤为关键。

额定循环10万次以上,兼容阀门箱与气柜集成应用

耐久性方面,该系列产品额定使用寿命超过10万次开关循环,可满足7×24小时连续生产环境的长期稳定运行需求。产品线同时提供手动与气动两种驱动配置,并具备与阀门集成箱(VMB)和气体柜(GC)无缝集成的能力,便于系统级整合应用。

深圳洁乐科技有限公司是一家专注于高纯及超高纯气体输送设备研发制造的高新技术企业,主要产品涵盖超高纯度气体调压器、超高纯度隔膜阀、气体切换汇流排及气体柜等。公司立足深圳,服务于全球半导体、能源及生物医药等领域的头部科技企业。

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