SK海力士完成12层混合键合HBM验证,良率提升加速量产进程

SK海力士完成12层混合键合HBM验证,良率提升加速量产进程

据韩国媒体《The Elec》报道,SK海力士(SK hynix)在混合键合(Hybrid Bonding)高带宽内存(HBM)领域取得重大进展。该公司技术负责人金钟勋(Kim Jong-hoon)确认,基于混合键合技术的12层高堆叠HBM已完成验证工作。虽然公司未披露具体良率数据,但明确指出当前生产准备程度已较两年前大幅改善,目前正全力提升良率以迈向大规模量产阶段。

这一进展对于全球半导体行业具有风向标意义。业界普遍预期,混合键合技术将从HBM4代开始正式采用,并随着16层及以上产品的商业化,在2026年下半年至2027年间逐步普及。然而,报告也指出,在当前技术条件下,混合键合仍面临经济性与工艺复杂度的双重挑战。

技术演进:从TC-NCF到混合键合的跨越

随着HBM堆叠层数的不断增加,制造过程的复杂性呈指数级上升。为了应对这一挑战,封装技术经历了显著的迭代升级,路径清晰可见:从早期的热压缩非导电膜(TC-NCF),发展到再流焊模塑底部填充(MR-MUF),如今已迈入混合键合时代。

每一代技术的更迭都旨在解决上一代的痛点。报告指出,随着技术演进,晶圆翘曲问题得到有效抑制,生产效率显著提升。TC-NCF和MR-MUF技术均依赖DRAM芯片间的小型金属凸块,并通过热压缩施加热量和压力进行连接。其中,MR-MUF技术通过引入助焊剂等保护材料,有效解决了TC-NCF在应用中出现的翘曲和损伤问题。

SK海力士计划进一步精进其MR-MUF技术,以在全面采用混合键合之前满足客户对16层堆叠高度标准的需求。这种“双轨并行”的策略,既确保了短期内的产能交付,又为长期技术转型预留了缓冲空间。

设备采购:标志性订单揭示量产决心

设备采购动向是判断技术落地进度的重要指标。今年4月初,《The Elec》援引知情人士消息指出,SK海力士上月订购了一套由应用材料公司(Applied Materials)与Besi联合开发的混合键合在线系统。

这套系统造价约200亿韩元(约合1500万美元),巧妙结合了应用材料的化学机械抛光(CMP)和等离子处理设备与Besi的混合键合机。此次采购标志着SK海力士首次获得旨在用于大规模生产的混合键合设备,具有里程碑意义。

此外,SK海力士还计划引入韩华半导体(Hanwha Semitech)开发的混合键合设备进行质量检测。相比之下,竞争对手三星电子(Samsung Electronics)虽已引进Besi设备进行研发,并测试SEMES提供的混合键合机,但报告认为SEMES的设备成熟度尚不及前者。

值得注意的是,JEDEC(固态技术协会)据报计划放宽HBM高度规格至约900微米,这一标准调整可能会影响混合键合技术的 Adoption 节奏。与此同时,北方华创(Naura)在SEMICON China展会上展示了混合键合设备,而去年备受瞩目的光刻机厂商SiCarrier则缺席了该展会,显示出产业链各环节的动态变化。

从行业背景来看,韩国存储巨头在先进封装领域的激进布局,反映了全球AI算力竞赛对内存带宽的渴求。混合键合作为突破传统微凸块尺寸限制的关键技术,其良率提升直接决定了下一代高性能计算芯片的成本与供应稳定性。

对于中国半导体产业链而言,SK海力士在混合键合验证上的突破既是压力也是动力。随着国内设备厂商如北方华创等在相关领域的探索,国产替代的窗口期正在打开。中国企业应密切关注HBM标准演变及封装技术路线图的调整,加速在精密抛光、等离子处理及键合设备等环节的技术攻关,以应对未来高端存储市场可能出现的供应链重构机遇。

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