射频电源，高压电源，匹配器，离子规控制器，变频器，膜厚仪维修
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- 上海旌弦电子科技有限公司
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日本SSD离子高压发生器，AT-10离子电源，AT-10高压火流
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- 上海斯奉电子科技有限公司
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