气体放电与等离子体诊断仪（朗缪尔探针）

气体放电与等离子体诊断仪

产品信息：

ssv-40型气体放电与等离子体诊断仪由东北大学东北大学真空与流体工程研究所教授团队研究开发，面向全国各高校。整套设备包括朗缪尔探针、气体放电管、测量系统、真空系统、进气系统等部分组成。朗缪尔探针、工作电压、工作气压、气体流量等部分均可独立控制并且自由调节。

从而利用该装置可实现的主要实验内容有：

1. 气体放电下放电管的v-i特性

2. 放电管内辉光放电外型图

3. 等离子体分析

通过上述实验应使学生充分理解的知识点包括：

1. 汤生放电原因以及过程

2. 帕刑定律以及着火电压

3. 放电管的v-i 特性及原因

4. 辉光放电的外型及解释

5. 空间电荷及等离子体

6. 等离子体空间电位

7. 等离子体悬浮电位

8. 等离子体密度(电子密度=离子密度)

9. 电子温度

10. 朗缪尔探针(单探针)进行等离子体诊断的理论

主要技术参数：

1.设备尺寸：850×500×1700 mm，可移动；

2.电源特性：220v ac，50hz；

3.总功率：500w；

4.工作压力范围：20~80pa，可调；

5.放电电流范围：0~5ma；

6.放电管尺寸：φ35×300mm2；

7.放电电压范围：0~1300v；

8.电极：φ30圆盘电极，304不锈钢，极间距可调；

9.朗缪尔探针：φ0.2mm，长10mm，钨丝；

10.探针驱动电压：-100v~100v

11.探针电流：0~1000ua

12.极限真空：<1 pa，<2 min

13.环境要求：-30~40℃，干燥清洁

辉光放电，等离子体诊断，朗缪尔探针，真空实验

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