配置在线检测干涉仪的环抛机(确定式环抛机)

供应商
上海中晶企业发展有限公司
认证
报价
1.00元每套
品牌
上海中晶JOM
直径
4米
功率
22kw
联系电话
021-69178855
手机号
13917331933
联系人
陈先生
所在地
嘉定区南翔镇德力西路67号1幢
更新时间
2018-10-23 09:18

详细介绍

目前4米环抛机可搭载300mm口径在线干涉仪,对加工元件进行在线检测,实现环抛的闭环控制。


被加工工件不需要下盘,直接在环抛过程中运动过程中进行检测,获取数据,实现确定式抛光。


该技术目前处于世界领先水平,国外还未出现类似产品。


环抛机,确定是环抛机,干涉仪

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