石英玻璃喷镀部件及其制造方法
发布时间: 2008-05-22
在成膜装置、等离子体处理装置等中使用的部件,特别是使用石英玻璃的部件,存在着附着在部件上的附着膜脱落造成的装置内的颗粒污染的问题、该部件与其他部件接合性不良造成的气密性降低的问题、以及部件的隔热性不良造成的热效率低的问题。本发明提供一种石英玻璃喷镀部件,是在基材上形成石英玻璃喷镀膜的部件,可提高附着膜的保持性,提高与其他部件的接合面的气密性,而且,通过将黑色石英玻璃作为包覆原料使用,可提高部件的隔热性。这些部件即使酸洗,上述性能也不会降低,可长期使用,寿命长。 展开全文
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