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测维光电成功研发一整套显微镜测量系统

发布时间: 2010-10-26

 2010年测维光电成功研发出一整套显微测量系统,为我国显微数码成像行业的发展,尽一份绵薄之力,我们相信测维的明天更美好!

    全部显微镜系统由进口件经测维工厂精心组装而成,其光学品质达到国外同功能台式机水平,在技术上填补了国内这方面的空缺,又因为是整系列奉献所以不用再东拼西凑的组合成套,具有很优越的兼容性。工业级检查显微镜具明显的优势是专门为在线生产量身打造,攻克了目力观察的弊端和场地狭小的限制。提高了生产流水线的技术含量和整合品质。其超值的优越性是不言而喻的

    测量显微镜特点:整个显微镜系统以影像法为测量原理,采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像,还能观察测 量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。而且显微镜的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微 米以下的突起、细微划痕进行观察。

    测量显微镜用途:此款显微镜适用于硅片、ic、lcd、tft、pcb、mems激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构,几何形状进行显微观测。并且有三维的计量功能,其解析率达0.0005mm。因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的必用仪器。

   测量显微镜主要参数

    1、镜筒:铰链式三目头部30°倾斜270°旋转

    2、高眼点平场目镜:wf10x/22

    3、超长物距平场物镜:pll5x/0.12wd26.1,pll10x/0.25wd20.2,pll20x/0.40wd8.80,pll50x/0.7wd3.68。

    4、右倾式内定位5孔转换器

    5、落射式照明系统:卤素灯12v30w,内置孔径光阑,五孔转盘滤色装置(黄、绿、蓝、磨砂)推拉式检偏器和起偏器。

    6、调焦结构:粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置粗动升降范围30mm微动格值0.001mm*100格数显解析值0.0005mm。

    7、光源:卤素灯亮度可调6v30w(bd:12v50w)

    8、普通透射照明:可选

    9、z轴升降范围:手轮转动130mm允许高工件130mm

    x轴移动范围200mm解析率:0.001mm可解锁手动快进

    y轴移动范围100mm解析率:0.001mm可解锁手动快进

    测量精度(3+l/100)mm(l:被测长度)

    落射光测量误差≤0.08%

    10、工作台尺寸:360mm*250mm玻璃板尺寸:225mm*175mm工作台承重:30kg

    11、仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm

    12、净重:100kg毛重:120kg

上海测维光电技术有限公司
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