1.仪器的基本信息:仪器名称:扫描电子显微镜英文名:Scanning Electron Microscope型号:Hitachi S-3400N产地:日本购买时间:存放地点:深圳瑞赛奇精密仪器有限公司管理人员:周先生联系电话:139294068092.仪器的用途:Hitachi S-3400N型扫描电子显微镜,主要用于对材料的微观形貌、组织和成分进行有效分析。3.仪器的性能指标:1)分辨率二次电子探头:≤3.0 nm(在30kV,高真空模式),≤10 nm(在3 kV,高真空模式);被散射探头:≤4.0 nm(在30kV,低真空模式)。2)加速电压:0.3kV~30kV连续可调。3)放大倍数:低倍率5倍,高倍率300,000倍。4)真空系统①具有低真空功能,高低真空切换,不需要安装压差光阑;②真空度:高真空不低于0.1 mPa;低真空(压力范围):10 Pa—270 Pa;5)电子光学系统①电子枪:钨灯丝,具有自动偏压+4级偏压功能;②聚光镜光阑完全安装在长内衬管内,可自行更换聚光镜光阑。6)样品室和样品台①样品台尺寸:装载直径≥200 mm样品;②样品台(五轴样品台,2轴马达驱动功能);③ 行程:X=100 mm;Y=50 mm;Z=50 mm;R=3600;T=-20~+900;6)探测器及成像系统① 二次电子探测器:二次电子像;高灵敏5分割背散射电子探测器:成分像、形貌像和三维像;②成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像;
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